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佳亚产品详情

产品分类

三氟化氮

名称/化学式:三氟化氮/NF3
包装规格:44L、17L
纯度(%)及杂质(ppm):99.99%
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名称/化学式:三氟化氮/NF3
包装规格:44L、17L
纯度(%)及杂质(ppm):99.99%


       三氟化氮在常温下是一种无色、无臭、性质稳定的气体,是一种强氧化剂。三氟化氮在微电子工业中作为一种优良的等离子蚀刻气体,在离子蚀刻时裂解为活性氟离子,这些氟离子对硅和钨化合物,高纯三氟化氮具有优异的蚀刻速率和选择性(对氧化硅和硅),它在蚀刻时,在蚀刻物表面不留任何残留物,是非常良好的清洗剂,同时在芯片制造、高能激光器方面得到了大量的运用。


我公司的气体产品包括:工业气体和特种气体。特气体主要由进口和厂家代理直销为主,产销的特气种类齐全,具有很强的竞争力。至今为止,本公司经营的气体产品有工业气体、混合气体、 超高纯气体、灭菌消毒气体、照明气体、标准气体等八个系列共50多个品种。

  • 99.9%(3N)氦气

    99.9%(3N)氦气

    氦气

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  • 99.9995%(5.5N)进口高纯氦气

    99.9995%(5.5N)进口高纯氦气

    氦气

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  • 99.9999%(6N)进口超纯氦气

    99.9999%(6N)进口超纯氦气

    氦气

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  • 99.999%(5N)高纯氦气

    99.999%(5N)高纯氦气

    氦气

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  • 99.999%(5N)高纯进口氖气

    99.999%(5N)高纯进口氖气

    稀有气体

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  • 99.999%(5N)高纯氙气

    99.999%(5N)高纯氙气

    氙气

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